(1)水冷設備，真空爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為晦氣的條件下工作，必須確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該依據不同的狀況設置水冷設備，以確保真空熱處理爐能夠正常運轉并有滿足的使用壽命。
(2)選用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會發(fā)生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴峻的會發(fā)生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和丟失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。一起在電熱元件結構設計時要采取有用措施，如盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以避免輝光放電或許弧光放電的發(fā)生。
(3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求。對立氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因而，常規(guī)熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
(4)嚴格的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，獲得和維持爐子原定的漏氣率，確保真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的含義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，便是要有牢靠的真空密封結構。為了確保真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許避免選用動密封結構，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都必須設計密封結構。
(5)自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完結。這些動作內涵真空熱處理爐內進行，操作人員無法挨近。一起，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作而且要在15秒鐘以內完結。在這樣敏捷的條件來完結許多動作，是很簡單形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，只有較高的目動化才能精確、及時按程序協(xié)調集。
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