雖然真空氣氛爐在進(jìn)行燒結(jié)與氣氛熱處理時(shí)有著很好的優(yōu)勢(shì)，但在真空燒結(jié)時(shí)，常產(chǎn)生金屬的揮發(fā)丟失，關(guān)于含碳材料的脫碳可以用添加粉末料中的含碳量以及控制真空度來(lái)解決，除此之外，還需要在運(yùn)用過(guò)程中注意以下內(nèi)容：
1、氰化鉀(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
2、除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。
3、一旦發(fā)現(xiàn)有阻礙安全之事物時(shí)，請(qǐng)當(dāng)即告訴有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
4、請(qǐng)節(jié)約純水用量。
5、實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無(wú)人持續(xù)運(yùn)用，請(qǐng)關(guān)閉特殊氣體，保留N2活動(dòng)，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān)，如：cleanhood燈火、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)順手關(guān)掉。
6、處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不當(dāng)心碰到HF時(shí)，請(qǐng)馬上沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15分鐘。
7、長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒(méi)運(yùn)用屆時(shí)，請(qǐng)朝上防止污染。
8、晶片進(jìn)出爐口時(shí)，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，防止污染爐管。
9、石英玻璃制品請(qǐng)當(dāng)心運(yùn)用，防止決裂，引起嚴(yán)重割傷。
10、防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良造成地板漬水。